從光電子峰的背景信號獲得成分深度分布信息: Tougaard背景擬合方法

從光電子峰的背景信號獲得成分深度分布信息: Tougaard背景擬合方法

光電子譜中的背景信號包含樣品的信息,但過去往往被忽略.實際上通過分析背景信號,可以獲得成分隨深度分布等信息.本文介紹Tougaard背景擬合法及其在光電子譜深度剖析中的應(yīng)用.

作 者： 季振國 朱玲   作者單位： 浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室,杭州,310027  刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(6)  分類號： O655.9 O482.7  關(guān)鍵詞： 光電子譜   背景擬合   深度剖析  

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