粗糙表面可見(jiàn)光散射特性的實(shí)驗(yàn)研究

粗糙表面可見(jiàn)光散射特性的實(shí)驗(yàn)研究

為了獲得目標(biāo)材料表面的散射參數(shù),設(shè)計(jì)了一種測(cè)量粗糙表面散射特性的實(shí)驗(yàn)裝置,并對(duì)幾種材料進(jìn)行了測(cè)量.激光器發(fā)出的激光經(jīng)樣品反射散射后,被探測(cè)器接收,轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái),完成在入射平面的測(cè)量.利用Matlab對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)曲線擬合,給出了材料表面散射特性的數(shù)學(xué)表達(dá)式.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,散射特性與表面粗糙度和入射角相關(guān).當(dāng)以中大角度照射時(shí),粗糙表面不再?lài)?yán)格遵守朗伯余弦定律,出現(xiàn)非鏡向峰值現(xiàn)象,且峰值隨著入射角的增大而增大.

作 者： 楊杰 吳凡 YANG Jie WU Fan   作者單位： 楊杰,YANG Jie(中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所,四川,成都,610209;中國(guó)科學(xué)院研究生院,北京,100039)

吳凡,WU Fan(中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所,四川,成都,610209) 

刊 名： 中國(guó)測(cè)試  ISTIC 英文刊名： CHINA MEASUREMENT & TEST  年，卷(期)： 2009 35(2)  分類(lèi)號(hào)： O436.2 TH744  關(guān)鍵詞： 散射特性   粗糙表面   朗伯余弦定律   非鏡向峰值   遮光罩  

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