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振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設計及電學模擬
根據(jù)驅(qū)動模態(tài)頻率和檢測模態(tài)的頻率相互匹配,用有限元法優(yōu)化了振子框架式微機械陀螺的結(jié)構(gòu)尺寸;根據(jù)建立的陀螺振動的等效電路模型,對檢測振動的性能進行了模擬分析,該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎(chǔ).
作 者： 車錄鋒 熊斌 王躍林 作者單位： 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,傳感技術(shù)國家重點實驗室,上海,200050 刊 名： 航空學報 ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA 年，卷(期)： 2002 23(3) 分類號： V241.5 O318 O327 關(guān)鍵詞： 微機械陀螺 優(yōu)化設計 等效電路模型 模擬【振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設計及電學模擬】相關(guān)文章：
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